micro-defo 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

micro-defo相关论文

基于双端固定梁与曲面电极的异面微致动器静态特性

为提高在微变形镜应用中静电微致动器的冲程，设计并讨论了一种基于双端固定梁为上电极、曲面电极为下电极的异面微致动器。利用Rayl......

期刊

大冲程驱动器曲面电极 MEMS 微变形镜 large stroke actuators curved electrode MEMS micro-defo

看过本文同时还关注